真空熱處理能用於淬火﹑減壓蒸餾﹑固溶熱處理﹑熱處理﹑淬火和沉定硬底化等加工工藝。異性鋼質量在進入適度物質后﹐也能用於有機化學熱處理。

真空中的淬火﹑減壓蒸餾﹑時效處理關鍵用於純粹水平或工藝性能規(guī)定高的工件﹐如難熔金屬材料的變軟和去地應力﹑不銹鋼板和鎳基高溫合金的時效處理﹑異性鋼生產鈦和鈦鋁合金的減壓蒸餾解決﹑軟磁合金改進導磁率和矯頑力的淬火﹐及其規(guī)定明亮的碳素鋼﹑高合金鋼和銅等的光亮退火。真空中的熱處理有氣淬和液淬二種。氣淬將要工件在真空加溫后向冷卻室中充以高純中氣體(如氮)開展冷卻。適用於氣淬的有鋒鋼和高碳鋼高鉻鋼等奧氏體臨界狀態(tài)冷卻速率較低的原材料。液淬是將工件在加溫室中加溫后﹐挪到冷卻室中充進高純度N2并馬上送進淬火油槽﹐迅速冷卻。假如必須高的工藝性能﹐工件真空熱處理和固溶熱處理后的淬火和沉定硬底化仍應在真空爐中開展。

真空滲碳是將工件裝進真空爐中﹐抽真空并加溫﹐使爐內清潔﹐做到滲碳溫度后進入氮氧化合物(如丙烷氣)開展?jié)B碳﹐歷經一定時間后斷開滲碳劑﹐異性鋼加工再抽真空開展外擴散。這類方式可保持高溫滲碳(1040℃)﹐減少滲碳時間。滲層中不出現(xiàn)內空氣氧化﹐也找不到滲碳層表層的碳含量低於次層的難題﹐并可根據(jù)脈衝方法真空滲碳﹐使埋孔和小孔得到勻稱滲碳層。

運用零件經真空熱處理后﹐崎變小﹐品質高﹐且加工工藝自身 實際操作靈便﹐無污染。因而真空熱處理不但是一些獨特鋁合金熱處理的必需方式﹐并且在一般工程用鋼的熱處理中也得到運用﹐非常是專用工具﹑磨具和高精密耦件等﹐經真空熱處理后使用期較一般熱處理有很大的提升。比如一些磨具經真空熱處理后﹐其使用壽命比原先鹽浴解決的高40～400％﹐然而有很多專用工具的使用壽命可提升3～4倍上下。除此之外﹐真空熱處理爐可在較高溫度下工作中﹐且工件能夠維持清潔的表層﹐因此能加快有機化學熱處理的吸咐和反映全過程。因而﹐一些有機化學熱處理﹐如滲碳﹑高頻淬火﹑滲鉻﹑滲硼﹐及其多元化共滲都能獲得迅速﹑更強的實際效果。